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LM가이드 스테이지 - Gen. 8 High Acceleration Gantry Stage

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시리즈

모션 스테이지


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제품 상세 설명

Description

- Stroke : 2,715mm×2,630mm
- Acceleration : 4m/sec²
- Velocity : 1.6m/sec
- Settling Time : 250msec / ±0.5㎛
- Payload : 230kg

 

Specification

X₁,X₂

Y₁,Y₂

작업영역

2,600mm

2,300mm

가이드

LM 베어링

부하질량

215kg(Head)

속도

1.6m/sec

가속도

4m/sec²

위치정밀도(보정후)

10㎛

반복정밀도

±1㎛

옵션사양  
응용분야

레이저 리페어 장비 외

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