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LM가이드 스테이지 - Frame base Gantry Stage
모델명
시리즈
모션 스테이지
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제품 상세 설명
Description
석정반 없이 경량화, 비용절감, 납기 단축을 하면서 성능을 개선했습니다. 고속운전을 요하는 리페어장치 또는 검사기 용도에 적합합니다.
- FEM분석으로 고강성, 공진 억제 강관 프레임 설계/ 진동 억제, 新 제어 알고리즘으로 제어 성능 강화/ 고강성 및 경량 특수 소재 상축 빔(옵션)
Specification
|
Parameter |
Unit |
X₁, X₂ |
Y |
Remark |
| 모터 |
- |
JTKCA050 |
JTKCA0650 |
Iron-core type |
| 크기 |
mm |
3,720 |
3,000 |
Gen. 8 |
| 작업영역 |
mm |
2,700 |
2,400 |
Gen. 8 |
| 부하질량 |
kg |
- |
140 |
- |
| 위치정밀도 |
㎛ |
2 |
2 |
after compensation |
| 반복정밀도 |
㎛ |
±1 |
±1 |
- |
| 진직도 |
㎛ |
20 |
30 |
- |
| 평편도 |
㎛ |
40 |
40 |
- |
| 요 |
arcsec |
20 |
20 |
- |
| 피치 |
arcsec |
20 |
20 |
- |
| 직각도 |
arcsec |
- |
±5 |
- |
| 속도 |
mm/sec |
1,600 |
1,600 |
maximum |
| 가속도 |
m/sec² |
5 |
5 |
average |
| 속도 리플 |
% |
±0.2/100 |
±0.2/100 |
at 100mm/sec |
| 안정화시간 |
msec/lpos band(㎛) |
650/±0.5 |
250/±0.5 |
200mm move at 400mm/sec |
| 정지시 떨림(Jitter) |
㎛ |
±0.1 |
±0.1 |
- |