(주)져스텍
수직위치결정 스테이지
모델명
시리즈
리니어모터
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제품 상세 설명
Description
- 분해능 : 0.1㎛ / 0.5㎛ / 1㎛
- 스트로크 : 10mm ~ 300mm
- 볼스크류 구동Z축 정밀 위치결정 스테이지
- 리니어 엔코더로 Full closed-loop 제어하여 backlash 최소화 및 정밀도 향상(옵션)
- 카메라, 레이저 헤드 등의 수직축 정밀 제어에 최적화된 구조
- 5상 스텝모터 또는 AC 서보 모터 구동
Specification
|
Model |
JTMZ10 |
JTMZ20 |
비 고 |
|
| Performance Parameters |
Units |
|||
| Table Size |
mm |
128 x 105 |
208 x 133 |
Max St. 200mm |
| Stroke |
mm |
10 / 20 |
10/30/60/100 |
- |
| Motor |
Nm |
최대정지토크 0.24 |
최대정지토크 0.83 |
5상 Step |
|
W |
50W / 100W |
100W / 200W / 400W |
AC servo |
|
| Resolution *1 |
㎛ |
5/1/0.5/0.1/0.05 |
5/1/0.5/0.1/0.05 |
- |
| Ball Screw Lead |
mm |
2 |
2 |
- |
| Repeatability |
㎛ |
±1 / ±0.5 |
±1 / ±0.5 |
With Linear |
| Accuracy |
㎛ |
2 |
2 |
|
| Repeatability |
㎛ |
±2 |
±2 |
With Linear |
| Accuracy *2 |
㎛ |
4 |
5 |
|
| Straitghtness |
㎛ |
3 |
3 |
- |
| Flatness |
㎛ |
4 |
5 |
- |
| Total Weight |
kg |
4 |
13.5 |
- |
| Load Capacity |
kg |
10 |
30 |
Vertical |
| Material |
- |
Aluminum |
Aluminum |
Black Anodizing |
*1 : Stroke 20mm *2 : Stroke 30mm