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(주)진우엔지니어링

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AF Coater

모델명

시리즈

Plasma Application


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원산지

대한민국


031-353-8350

제품 상세 설명

AF Coater

PeCVD & Thermal Evaporation 방식으로 부품표면에 Fluorine Chemical Compound를 Deposition하여 고 밀착성의 Anti Finger 기능을 부가하는 설비이고, 용도는 Smart Phone & Tablet PC등의 강화유리에 AF Coating.

(주)진우엔지니어링 AF Coater  2

Features

1

High

User Friendly

1. Rotative & Orbital Load/Unloading
2. Magazine 12ea Load/Unloading

Production Capacity

E-Beam 대비 4~6배 [Size]

2

Low

Chamber Size

E-Beam 대비 3/4

Temp (25~35˚)

E-Beam 80℃ 이상

Operating Cost

E-Beam 대비 Vacuum Pumping 低

Coefficient Of Friction

 

 

Specification

Works Space

L4500*D6500*H2700

Weight

4.5 Tons

Main

Chamber

Φ1,600*H1600

Source

PeCVD+ Evaporation

Work Jig

Φ300 * 12 Axis

Pump

Diffusion Pump

20” 1 Set

Rotary & Booster Pump

E2M275 & EH2600

Vacuum Level

5*10-5torr

Option

Chiller

15RT

Poly Coldp

100,000L/Sec

 

Layout

(주)진우엔지니어링 AF Coater  3

 

Comparison

 

Wise AF-1600 PeCVD ( Φ1,600 )

E-Beam AF ( Φ2,050 )

Capa

Batch Time

40min

45min

Glass Size

4”

7”

10.1”

4”

7”

10.1”

1 Batch

1,080

320

192

260

99

135

Day [22Hr]

35,640

10,560

6,336

8,580

3,267

1,155

Month [26Day]

926,640

274,560

164,736

223,080

84,942

30,030

Deposition Temp

25~35℃

80℃ 이상

Target

Rotative & Orbital Magazine 12ea

Dome

 

 

 

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