Chat with us, powered by LiveChat METALLION™ Series | 제이앤엘테크 - 코머신
제품명 METALLION™ Series
모델명
시리즈 코팅시스템
카탈로그 METALLION.pdf
제품소개

METALLION™은 아크 방전을 이용하여 음극부의 메탈 타겟을 증발시켜 이를 표면에 증착 시키는 표면 코팅 장비입니다.

 

시스템 사양

챔버 크기 Ø1000×H1200, Custom-made
지그 시스템 2 fold or 3 fold
작동 가스 Mass flow control system
Ar · N2 · etc
플라즈마 소스 5" Cathodic Arc Source
(Auto trigger, Direct Water Cooling)
초기 진공도 ~10-6Torr
바이어스 전원 Pulsed DC
히터 Max 480℃
장치 운전 전자동/반자동

 

주요특징

• 다양한 코팅막 증착이 가능
• 높은 증착률 및 이온화율
• 금속 모재에 대한 우수한 접합력
• 코팅 상대재에 대한 높은 접합력
• 높은 재현성과 유지보수의 용이성

제이앤엘테크 METALLION™ Series  2

 

응용분야

TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, CrN, Nano Composite 코팅 등 적절한 Target Material을 선택함으로써 다양한 코팅이 가능합니다.

제이앤엘테크 METALLION™ Series  3

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