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(주)제이앤엘테크
제품 상세 정보
CARBOZEN™-FA(Filtered Cathodic Vacuum Arc) SERIES는 아크방전(Arc discharge)을 이용하여 음극부의 물질을 증발시켜 이를 표면에 증착시키는 코팅 장치입니다.
시스템 사양
| 챔버 크기 | Ø600×H600, Custom-made |
| 지그 시스템 | 2 fold or 3 fold |
| 작동 가스 | Mass flow control system Ar |
| 플라즈마 소스 | FCVA Source |
| 초기 진공도 | ~10-6Torr |
| 바이어스 전원 | Pulsed DC |
| 히터 | Max 250℃ |
| 장치운전 | 전자동 / 반자동 |
응용분야
마이크로 드릴, 엔드밀, 절삭공구, 컷팅류
