기업 기본 정보
설립일자
2000-11-23
업종
그 외 기타 특수목적용 기계 제조업
운영여부
운영중
업데이트
2025-12-04
기업 개요
- 한줄 요약
- (주)아이엠티는 반도체 및 첨단 IT기기 생산 공정에 필수적인 건식세정 장비 개발 및 판매 전문 기업. 레이저와 CO2 기술을 활용하여 제품 표면의 이물질과 파티클을 물이나 화학약품 없이 제거하는 친환경 솔루션 제공. 20년 이상 축적된 건식세정 기술 노하우를 바탕으로 고성능 장비를 공급하는 역량. 특히 고대역폭메모리(HBM) 웨이퍼 세정 및 EUV 마스크 솔루션 분야에서 세계 최초 기술을 선보이는 혁신 기업.(주)아이엠티는 반도체 및 첨단 IT기기 생산 공정에 필수적인 건식세정 장비 개발 및 판매 전문 기업. 레이저와 CO2 기술을 활용하여 제품 표면의 이물질과 파티클을 물이나 화학약품 없이 제거하는 친환경 솔루션 제공. 20년 이상 축적된 건식세정 기술 노하우를 바탕으로 고성능 장비를 공급하는 역량. 특히 고대역폭메모리(HBM) 웨이퍼 세정 및 EUV 마스크 솔루션 분야에서 세계 최초 기술을 선보이는 혁신 기업.
- 대표 제품군/보유 기술
- 레이저 세정 장비는 반도체 테스트 소켓 핀, 프로브 카드, 패키징 몰드 세정에 활용되는 기술. 자동, 반자동, 수동 방식의 프로브 카드 세정 시스템 및 모바일 레이저 클리너, 자동 레이저 클리너 모델 보유. 고출력 Laser Cleaning System (1KW급) 및 공냉식 300W Laser Cleaning System 개발 이력. IMT IR 레이저를 사용하여 표면 오염물을 제거하며, 레이저 스캔 헤드가 전원 장치와 분리되어 최대 20m의 작업 거리를 제공하는 100P-S 분리형 레이저 세정 시스템도 개발.레이저 세정 장비는 반도체 테스트 소켓 핀, 프로브 카드, 패키징 몰드 세정에 활용되는 기술. 자동, 반자동, 수동 방식의 프로브 카드 세정 시스템 및 모바일 레이저 클리너, 자동 레이저 클리너 모델 보유. 고출력 Laser Cleaning System (1KW급) 및 공냉식 300W Laser Cleaning System 개발 이력. IMT IR 레이저를 사용하여 표면 오염물을 제거하며, 레이저 스캔 헤드가 전원 장치와 분리되어 최대 20m의 작업 거리를 제공하는 100P-S 분리형 레이저 세정 시스템도 개발.
- CO2 세정 장비는 HBM 반도체 웨이퍼, LCD/OLED 디스플레이, 휴대폰 카메라 모듈 세정에 적용되는 솔루션. 초정밀 대면적 균일 세정을 위한 MicroJet® Cleaner (SM201, SM202, SM204)와 정밀 세정용 Snow CO2 Jet Cleaner (S201, S202) 등 다양한 모델 라인업. 심한 오염 세정을 위한 Super Snow CO2 Jet Cleaner (SS201) 및 Pellet CO2 Jet Cleaner (P301, P302) 모델도 제공. CO2 클리닝은 물리적 충격력, 열 충격, 팽창, 박리 원리를 활용한 기술.CO2 세정 장비는 HBM 반도체 웨이퍼, LCD/OLED 디스플레이, 휴대폰 카메라 모듈 세정에 적용되는 솔루션. 초정밀 대면적 균일 세정을 위한 MicroJet® Cleaner (SM201, SM202, SM204)와 정밀 세정용 Snow CO2 Jet Cleaner (S201, S202) 등 다양한 모델 라인업. 심한 오염 세정을 위한 Super Snow CO2 Jet Cleaner (SS201) 및 Pellet CO2 Jet Cleaner (P301, P302) 모델도 제공. CO2 클리닝은 물리적 충격력, 열 충격, 팽창, 박리 원리를 활용한 기술.
- EUV 마스크 솔루션은 EUV 마스크 레이저 베이킹 및 관련 첨단 장비 솔루션. EUV 마스크의 어닐링, 베이킹, 클리닝, 분석 기능을 포함하는 통합 솔루션 제공. 세계 최초 3세대 노즐인 MicroJet®과 특허 액화 CO2 공급 방법을 활용한 친환경 드라이클리닝 기술. 마스크 AFM 재생 후 잔재 제거 기술도 포함.EUV 마스크 솔루션은 EUV 마스크 레이저 베이킹 및 관련 첨단 장비 솔루션. EUV 마스크의 어닐링, 베이킹, 클리닝, 분석 기능을 포함하는 통합 솔루션 제공. 세계 최초 3세대 노즐인 MicroJet®과 특허 액화 CO2 공급 방법을 활용한 친환경 드라이클리닝 기술. 마스크 AFM 재생 후 잔재 제거 기술도 포함.
- 웨이퍼 금속 오염 분석기 및 화학분석 자동화기 등 정밀 분석 장비도 제공하는 포트폴리오.웨이퍼 금속 오염 분석기 및 화학분석 자동화기 등 정밀 분석 장비도 제공하는 포트폴리오.
- 경쟁 우위 포인트
- 레이저와 CO2를 활용한 건식세정 기술 분야에서 세계 최고 수준의 기술력 보유. 물이나 화학약품 없이 이물질을 제거하는 친환경 솔루션 제공.레이저와 CO2를 활용한 건식세정 기술 분야에서 세계 최고 수준의 기술력 보유. 물이나 화학약품 없이 이물질을 제거하는 친환경 솔루션 제공.
- 높은 생산성을 보장하는 신속한 세정 능력과 제품 표면에 영향을 주지 않는 안전한 세정 기술. 세정기의 면적을 최소화하는 Compact Design과 낮은 COO(Cost of Ownership)로 경제적인 세정.높은 생산성을 보장하는 신속한 세정 능력과 제품 표면에 영향을 주지 않는 안전한 세정 기술. 세정기의 면적을 최소화하는 Compact Design과 낮은 COO(Cost of Ownership)로 경제적인 세정.
- 고대역폭메모리(HBM) 웨이퍼 세정 및 EUV 마스크 솔루션 분야에서 세계 최초 기술을 선보이는 혁신 기업. 특히 EUV 마스크용 레이저 베이킹 장비 원천기술 및 레이저빔 스캔 헤드 관련 특허 기술 보유.고대역폭메모리(HBM) 웨이퍼 세정 및 EUV 마스크 솔루션 분야에서 세계 최초 기술을 선보이는 혁신 기업. 특히 EUV 마스크용 레이저 베이킹 장비 원천기술 및 레이저빔 스캔 헤드 관련 특허 기술 보유.
- 20년 이상 축적된 건식세정 기술 노하우를 바탕으로 고성능 장비를 공급하는 역량. Micro dry ice snow spray type cleaning device 관련 특허를 통한 CO2 세정 기술의 독자성 확보.20년 이상 축적된 건식세정 기술 노하우를 바탕으로 고성능 장비를 공급하는 역량. Micro dry ice snow spray type cleaning device 관련 특허를 통한 CO2 세정 기술의 독자성 확보.
- 웨이퍼 와피지 제어 기술을 핵심 경쟁력으로 제시하며, 이는 반도체 웨이퍼의 휘어짐 현상을 제어하여 공정 불량률을 낮추는 국내 보기 드문 반도체 장비 원천기술.웨이퍼 와피지 제어 기술을 핵심 경쟁력으로 제시하며, 이는 반도체 웨이퍼의 휘어짐 현상을 제어하여 공정 불량률을 낮추는 국내 보기 드문 반도체 장비 원천기술.
- 자회사 아이엠텍 플러스를 통해 세계 최초 12인치 HBM용 세라믹 기판을 개발하여 국내 주요 메모리 반도체 공급업체에 납품하며 사업 영역 확장.자회사 아이엠텍 플러스를 통해 세계 최초 12인치 HBM용 세라믹 기판을 개발하여 국내 주요 메모리 반도체 공급업체에 납품하며 사업 영역 확장.
- 적용 산업
- 반도체 산업: 고대역폭메모리(HBM) 웨이퍼 세정, 반도체 테스트 소켓 핀 세정, 프로브 카드 세정, 패키징 몰드 세정, 반도체 장비 내부 챔버 부품 클리닝.반도체 산업: 고대역폭메모리(HBM) 웨이퍼 세정, 반도체 테스트 소켓 핀 세정, 프로브 카드 세정, 패키징 몰드 세정, 반도체 장비 내부 챔버 부품 클리닝.
- 디스플레이 산업: LCD/OLED 디스플레이 AOI 검사 전 세정, AMOLED 디스플레이 레이저 클리닝, OLED FMM 마스크 세정.디스플레이 산업: LCD/OLED 디스플레이 AOI 검사 전 세정, AMOLED 디스플레이 레이저 클리닝, OLED FMM 마스크 세정.
- 첨단 IT 기기 산업: 휴대폰용 카메라 모듈 세정.첨단 IT 기기 산업: 휴대폰용 카메라 모듈 세정.
- EUV 마스크 제조: EUV 마스크 레이저 베이킹 및 관련 첨단 장비 솔루션.EUV 마스크 제조: EUV 마스크 레이저 베이킹 및 관련 첨단 장비 솔루션.
- 이차전지 산업: 배터리 레이저 클리너 개발 및 현장 적용, 이차전지 실링툴 세정.이차전지 산업: 배터리 레이저 클리너 개발 및 현장 적용, 이차전지 실링툴 세정.
- 기타 산업: PCB, 금속 부품, 플라스틱 부품 세정.기타 산업: PCB, 금속 부품, 플라스틱 부품 세정.
- 주요 시장
- 대만, 대한민국대만, 대한민국
- 미국미국
- 인증/특허
- 총 74건의 특허 출원 이력과 40건의 등록 특허 보유.총 74건의 특허 출원 이력과 40건의 등록 특허 보유.
- 미국 특허 US6,635,845 B2, US6,734,388 B2 및 다수의 한국 특허 보유.미국 특허 US6,635,845 B2, US6,734,388 B2 및 다수의 한국 특허 보유.
- EUV 마스크용 레이저 베이킹 장비 원천기술 및 레이저빔 스캔 헤드 관련 특허 기술 보유.EUV 마스크용 레이저 베이킹 장비 원천기술 및 레이저빔 스캔 헤드 관련 특허 기술 보유.
- Micro dry ice snow spray type cleaning device 관련 특허를 통한 CO2 세정 기술의 독자성 확보.Micro dry ice snow spray type cleaning device 관련 특허를 통한 CO2 세정 기술의 독자성 확보.
- ISO 9001, ISO 14001-2015, ISO 45001-2018 등 국제 품질, 환경, 안전 경영 시스템 인증 보유.ISO 9001, ISO 14001-2015, ISO 45001-2018 등 국제 품질, 환경, 안전 경영 시스템 인증 보유.
- CE 인증 (IMT800MV, IMT1200M 모델) 획득을 통한 유럽 시장 진출 기반 마련.CE 인증 (IMT800MV, IMT1200M 모델) 획득을 통한 유럽 시장 진출 기반 마련.
- 소재부품전문기업 확인서, INOBIZ, 기업부설연구소, 벤처기업, 유망중소기업, 뿌리기업확인서, 지식재산경영인증서 등 다양한 기업 인증 보유.소재부품전문기업 확인서, INOBIZ, 기업부설연구소, 벤처기업, 유망중소기업, 뿌리기업확인서, 지식재산경영인증서 등 다양한 기업 인증 보유.
- 2003년 산업자원부 '한국 신기술 인증서' 수여 이력.2003년 산업자원부 '한국 신기술 인증서' 수여 이력.
- 기술성장특례(한국 발명진흥회 AA등급)를 통한 코스닥 상장 추진.기술성장특례(한국 발명진흥회 AA등급)를 통한 코스닥 상장 추진.
기업 소개
기업 위치
경기도 수원시 영통구 신원로 306, 1동8층