(주)아이엠티는 반도체 및 첨단 IT기기 생산 공정에 필수적인 건식세정 장비 개발 및 판매 전문 기업. 레이저와 CO2 기술을 활용하여 제품 표면의 이물질과 파티클을 물이나 화학약품 없이 제거하는 친환경 솔루션 제공. 20년 이상 축적된 건식세정 기술 노하우를 바탕으로 고성능 장비를 공급하는 역량. 특히 고대역폭메모리(HBM) 웨이퍼 세정 및 EUV 마스크 솔루션 분야에서 세계 최초 기술을 선보이는 혁신 기업.(주)아이엠티는반도체및첨단IT기기생산공정에필수적인건식세정장비개발및판매전문기업.레이저와CO2기술을활용하여제품표면의이물질과파티클을물이나화학약품없이제거하는친환경솔루션제공.20년이상축적된건식세정기술노하우를바탕으로고성능장비를공급하는역량.특히고대역폭메모리(HBM)웨이퍼세정및EUV마스크솔루션분야에서세계최초기술을선보이는혁신기업.
대표 제품군/보유 기술대표제품군/보유기술
주요 제품군은 레이저 세정 장비와 CO2 세정 장비로 구성.주요제품군은레이저세정장비와CO2세정장비로구성.
레이저 세정 장비는 반도체 테스트 소켓 핀, 프로브 카드, 패키징 몰드 세정에 활용되는 기술. 자동, 반자동, 수동 방식의 프로브 카드 세정 시스템 및 모바일 레이저 클리너, 자동 레이저 클리너 모델 보유. 고출력 Laser Cleaning System (1KW급) 및 공냉식 300W Laser Cleaning System 개발 이력.레이저세정장비는반도체테스트소켓핀,프로브카드,패키징몰드세정에활용되는기술.자동,반자동,수동방식의프로브카드세정시스템및모바일레이저클리너,자동레이저클리너모델보유.고출력LaserCleaningSystem(1KW급)및공냉식300WLaserCleaningSystem개발이력.
CO2 세정 장비는 HBM 반도체 웨이퍼, LCD/OLED 디스플레이, 휴대폰 카메라 모듈 세정에 적용되는 솔루션. 초정밀 대면적 균일 세정을 위한 MicroJet® Cleaner (SM201, SM202, SM204)와 정밀 세정용 Snow CO2 Jet Cleaner (S201, S202) 등 다양한 모델 라인업.CO2세정장비는HBM반도체웨이퍼,LCD/OLED디스플레이,휴대폰카메라모듈세정에적용되는솔루션.초정밀대면적균일세정을위한MicroJet®Cleaner(SM201,SM202,SM204)와정밀세정용SnowCO2JetCleaner(S201,S202)등다양한모델라인업.
EUV 마스크 솔루션은 EUV 마스크 레이저 베이킹 장비 및 관련 첨단 장비 개발을 포함하는 핵심 기술 분야. Annealing, Baking, Cleaning, Analysis 기능을 포함하는 포괄적인 솔루션 제공.EUV마스크솔루션은EUV마스크레이저베이킹장비및관련첨단장비개발을포함하는핵심기술분야.Annealing,Baking,Cleaning,Analysis기능을포함하는포괄적인솔루션제공.
웨이퍼 금속 오염 분석기 및 화학분석 자동화기 등 정밀 분석 장비도 제공하는 포트폴리오. 이차전지 실링툴 세정 장비 개발을 통한 사업 영역 확장.웨이퍼금속오염분석기및화학분석자동화기등정밀분석장비도제공하는포트폴리오.이차전지실링툴세정장비개발을통한사업영역확장.
경쟁 우위 포인트경쟁우위포인트
레이저 및 CO2 건식세정 기술 분야에서 세계 최고 수준의 독보적인 기술력 보유.레이저및CO2건식세정기술분야에서세계최고수준의독보적인기술력보유.
화학약품과 물을 사용하지 않는 친환경 세정 방식으로 환경 규제에 선제적으로 대응하는 능력.화학약품과물을사용하지않는친환경세정방식으로환경규제에선제적으로대응하는능력.
높은 생산성을 보장하는 신속한 세정 속도와 건조 공정 불필요로 인한 낮은 총소유비용(COO)의 경제적 이점.높은생산성을보장하는신속한세정속도와건조공정불필요로인한낮은총소유비용(COO)의경제적이점.
비접촉식 세정 기술과 정밀 제어를 통해 제품 표면 손상 없이 오염물을 제거하는 안전성.비접촉식세정기술과정밀제어를통해제품표면손상없이오염물을제거하는안전성.
고대역폭메모리(HBM)용 웨이퍼 MicroJet® Cleaning 장비 세계 최초 개발 및 현장 적용을 통한 기술 선도력.고대역폭메모리(HBM)용웨이퍼MicroJet®Cleaning장비세계최초개발및현장적용을통한기술선도력.
세계 최고의 반도체 기업과의 공동 개발 프로젝트를 통해 EUV 마스크 레이저 베이킹 장비 상업화에 성공한 혁신 역량.세계최고의반도체기업과의공동개발프로젝트를통해EUV마스크레이저베이킹장비상업화에성공한혁신역량.
다양한 오염물(유기물, 무기물, 파티클, 지문)에 대한 선택적 제거 및 정밀 제어 기술 적용 능력.다양한오염물(유기물,무기물,파티클,지문)에대한선택적제거및정밀제어기술적용능력.
독자적인 레이저빔 스캔 헤드 구조 및 작동 특허 기술을 활용하여 효율적인 인라인 세정을 구현하는 차별점.독자적인레이저빔스캔헤드구조및작동특허기술을활용하여효율적인인라인세정을구현하는차별점.
적용 산업적용산업
반도체 산업: 고대역폭메모리(HBM) 웨이퍼 세정, 반도체 테스트 소켓 핀 세정, 프로브 카드 세정, 패키징 몰드 세정, 반도체 장비 내부 챔버 부품 클리닝.반도체산업:고대역폭메모리(HBM)웨이퍼세정,반도체테스트소켓핀세정,프로브카드세정,패키징몰드세정,반도체장비내부챔버부품클리닝.
디스플레이 산업: LCD/OLED 디스플레이 AOI 검사 전 세정, AMOLED 디스플레이 레이저 클리닝, OLED FMM 마스크 세정.디스플레이산업:LCD/OLED디스플레이AOI검사전세정,AMOLED디스플레이레이저클리닝,OLEDFMM마스크세정.
첨단 IT 기기 산업: 휴대폰용 카메라 모듈 세정.첨단IT기기산업:휴대폰용카메라모듈세정.
EUV 마스크 제조: EUV 마스크 레이저 베이킹 및 관련 첨단 장비 솔루션.EUV마스크제조:EUV마스크레이저베이킹및관련첨단장비솔루션.
이차전지 산업: 배터리 레이저 클리너 개발 및 현장 적용, 이차전지 실링툴 세정.이차전지산업:배터리레이저클리너개발및현장적용,이차전지실링툴세정.
기타 산업: PCB, 금속 부품, 플라스틱 부품 세정.기타산업:PCB,금속부품,플라스틱부품세정.
주요 시장주요시장
미국미국
인증/특허인증/특허
**인증**: ISO 9001, ISO 14001-2015, ISO 45001-2018 등 국제 품질, 환경, 안전 경영 시스템 인증 보유.**인증**:ISO9001,ISO14001-2015,ISO45001-2018등국제품질,환경,안전경영시스템인증보유.
CE 인증 (IMT800MV, IMT1200M 모델) 획득을 통한 유럽 시장 진출 기반 마련.CE인증(IMT800MV,IMT1200M모델)획득을통한유럽시장진출기반마련.
소재부품전문기업 확인서, 기업부설연구소 인정서, 벤처기업 확인서, 이노비즈 기업 선정 등 기술 혁신 역량 증명.소재부품전문기업확인서,기업부설연구소인정서,벤처기업확인서,이노비즈기업선정등기술혁신역량증명.
지식재산경영인증 및 경기도 유망중소기업 선정으로 기업의 성장 잠재력 인정.지식재산경영인증및경기도유망중소기업선정으로기업의성장잠재력인정.
CMMI LEVEL 3 인증 및 AS9100 인증을 통해 소프트웨어 개발 및 방위 산업 분야의 품질 관리 능력 확보.CMMILEVEL3인증및AS9100인증을통해소프트웨어개발및방위산업분야의품질관리능력확보.
**특허**: 미국 특허 US6,635,845 B2 (레이저를 이용한 건식 표면 세정 장치) 및 US6,734,388 B2 (건식 표면 세정 장치) 등록.**특허**:미국특허US6,635,845B2(레이저를이용한건식표면세정장치)및US6,734,388B2(건식표면세정장치)등록.
한국 다수의 특허 등록 (예: 제0328620호, 제0348701호, 제0376398호 등 20개 이상)을 통한 기술 보호.한국다수의특허등록(예:제0328620호,제0348701호,제0376398호등20개이상)을통한기술보호.
EUV 마스크용 레이저 베이킹 장비 원천기술 및 레이저빔 스캔 헤드 관련 특허 기술 보유.EUV마스크용레이저베이킹장비원천기술및레이저빔스캔헤드관련특허기술보유.
Micro dry ice snow spray type cleaning device 관련 특허를 통한 CO2 세정 기술의 독자성 확보.Microdryicesnowspraytypecleaningdevice관련특허를통한CO2세정기술의독자성확보.