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UHP VCR Springless Single Stage Pressure Reducing Regulators

모델명

시리즈

Semiconductor (UHP)


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제품 상세 설명

UHP Springless Tied type Pressure Reducing Regulators

DRA300(Springless type) 시리즈는 “초고순도 반도체 제조용 Gas Cabinet, 특수 가스 라인, Valve Manifold Boxes, 기타 연구실” 등에 사용하도록 고안된 Springless 타입의 Pressure Regulator입니다. Springless type은 기존방식의 스프링을 완전히 제거하고, 웨이브형상의 판 스프링(특허10-2010-0113521)을 사용함으로써, 일반적인 스프링타입의 결점(장기간 사용시 누적피로로 발생하는 스프링 자체 Particle ; 이물질이 발생함)을 완벽하게 보완함으로써 원천적으로 제품 내부의 이물질이 발생하지 못하도록 함으로, User들에게 더욱 초 고순도/청정을 필요로 하는 곳에 더욱 적합한 제품입니다. 또한 DRA300 시리즈는 모델에 따라 316L VAR(Double melt VAR)를 사용함으로 부식가스에 사용하기에 더욱 적합한 제품입니다. 다이아프램과 몸체간의 경계 면에 Material to Material Sealing 되어 있고, 10 Ra 또는 5 Ra 의 microinch 단위의 정밀 Electro Polish를 함으로써, 초정밀 표면처리 되어있습니다. 그리고 다이아프램과 메인 밸브를 연결시켜 (Tied 타입 적용) 이물질이 밸브 시트에 형성되더라도 압력 누설이 되지 않도록 최고의 안전성을 겸비한 방식으로 설계 고안된 제품입니다. 특히 독성 가스, 발화성 가스, 고부식성 가스등으로 다이아프램의 파열로부터 안전하게 보호하는 데 유용하며, DRA300 시리즈는 이물질 발생을 방지하기 위해 DI water 세정과 E.P 10 Ra, 5 Ra급으로 내부표면을 처리하였습니다. DRA300 시리즈는 조립, 용접, 실험과 세정까지의 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 모든 작업이 이루어집니다. 

또한 외부적인 진동과 가스라인의 미세 진동 등으로 인하여 초기 셋팅 값이 미세하게 조금씩 변하는 현상을 완전히 해결한 드라스타 만의 Push and Lock 타입(특허 1086199)의 조절 손잡이를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 셋팅값이 변하는 것을 완전히 방지하며, 손잡이를 앞으로 당기면 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있는 드라스타 만의 특허 Push and Lock 타입의 레귤레이터 입니다.

 

(주)드라스타 UHP VCR Springless Single Stage Pressure Reducing Regulators DRA300 1

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DRA300 series

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