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UHP VCR Tied Single Stage Pressure Reducing Regulators

모델명

시리즈

Semiconductor (UHP)


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제품 상세 설명

UHP Tied Diaphragm Pressure Reducing Regulators

DRA200(Tied type) 시리즈는 초고순도 반도체 제조용 Gas Cabinet, 특수 가스 라인, Valve Manifold Boxes, 기타 연구실 등에 사용하도록 고안된 Tied type Pressure Reducing Regulator입니다. Tied type은 다이아프램과 메인 밸브를 연결시켜 이물질이 밸브 시트에 형성되더라도 압력 누설이 되지 않도록 최고의 안전성을 겸비한 방식으로 설계 고안된 제품입니다. 특히 독성 가스, 발화성 가스, 고부식성 가스등으로 다이아프램을 파열로 부터 안전하게 보호하는 데 유용하며, 특허(10-0753280) 출원한 Locking-Plate 방식이 적용된 제품입니다. 입구 압력은 최대 3500psig(241bar)이고 Outlet working pressure 각각의 모델에 따라 최대 250psig(17bar)까지 사용하기에 더욱 적합한 제품입니다. 사용 용도에 따라 2-ports, 3-ports 또는 4-ports를 선택하여 사용 할 수 있도록 하였습니다. DRA200 시리즈는 이물질 발생을 방지하기 위해 DI water 세정과 E. P 10 Ra, 5 Ra급으로 내부표면을 처리하였습니다. DRA200시리즈는 조립, 용접, 실험과 세정까지의 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 모든 작업이 이루어집니다. 

또한 외부적인 진동과 가스라인의 미세 진동 등으로 인하여 초기 셋팅 값이 미세하게 조금씩 변하는 현상을 완전히 해결한 드라스타 만의 Push and Lock 타입(특허 1086199)의 조절 손잡이를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 셋팅값이 변하는 것을 완전히 방지하며, 손잡이를 앞으로 당기면 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있는 드라스타 만의 특허 Push and Lock 타입의 레귤레이터 입니다.

 

(주)드라스타 UHP VCR Tied Single Stage Pressure Reducing Regulators DRA200 1

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