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Aligner
모델명
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시리즈
반도체장비
자료
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구매정보
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블루코드반도체 장비 전문업체, 중앙감시 시스템, 반도체공정 장비, 멀티미디어 기기 제작 및 판매
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제조사
블루코드[바로가기]
브랜드
-
SKU
130601
제품명
Aligner
모델명
-
사이즈
-
중량
-
제품 상세 정보

Wafer Image 검출 장치와 Moving 장치(θ축, X축, Z축)등으로 구성되며, 고 분해능의 Linear CCD Sensor를 적용하여 Wafer Edge 및 Notch에 대한 Image Data를 고속 처리함으로써, 편심을 보정하고 Flat 또는 Notch를 임의의(User Setting) 각도로 정확하게 신속하게 정렬하는 장치입니다.

 

Specification

- Particle 최소화를 위한 최소 접촉 방식의 Chuck 설계

- Class_1 대응 및 오염 방지를 위한 Inner Filter 채용

- 6", 8", 12" Wafer 공용 가능한 우수한 확장성

- 최소 Footprint 248×285×230mm

- X, Z, θ의 Module Block화로 Maintenance가 용이

- Cycle time 4sec 이내

- 정밀한 위치 제어를 위한 Micro Stepping Driver 채용
   Precision X ± 0.035mm
   Precision θ ± 0.035mm

블루코드반도체 장비 전문업체, 중앙감시 시스템, 반도체공정 장비, 멀티미디어 기기 제작 및 판매
반도체 장비부문의 국산화와 신기술의 사업화, 연구생산성 향상을 목표로 블루코드는 국내 최초 연구소 중심의 기술집약형 중소기업으로 설립되었습니다. 반도체 장비분야에서 크린룸 감시 제어시스템, Wafer Sorter, Wafer Aligner등의 첨단 장비를 개발하여 국내 반도체 장비 업계에서 확고한 위치를 차지하고 있습니다. 앞으로도 저희 블루코드는 세계적인 첨단 기업으로 거듭나기 위해 창조적 흑자경영 실현 및 미래지향적 경영개선 그리고 공동체 기업문화 구축이라는 경영방침아래 임직원 모두가 하나가 되어 더욱 정진할 것을 약속드립니다.
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