블루코드
1/1
AVIS (Visual Inspection System)
모델명
시리즈
반도체장비
구매 안내
아래는 참고용 정보이므로 세부 조건은 반드시 제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
결제 방법
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
납기 정보
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
배송 정보
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
원산지
제조사/판매자에게 문의 바랍니다.
제품 상세 설명
300mm Auto Visual Inspection System은 Source Cassette 내의 Wafer 외관 상태를 검사하여 Wafer의 검사 결과에 따라 Target Cassette의 해당 위치로 분류하는 장비입니다.
Specification
- Wafer의 Front Side, Back Side, Edge의 외관상태를 검사할 수 있도록 Flexible하게 설계
- 사용자의 편리성을 도모하기 위하여 조명의 위치, Inspection Stage의 각도 및 위치를 Case별 설정하여 사용할 수 있도록 설계
- Stage의 용도를 사용자가 임의로 설정하여 사용할 수 있도록 설계
- Communications : SECS Ⅰ / SECS Ⅱ / GEM