300mm Wafer Stocker는 Wafer Sorting 및 Stock 기능을 통합한 신개념의 Wafer Collecting System으로 Process 장비 또는 측정장비의 전, 후에 위치하여 제품의 등급에 따라 분류, 저장, 공급 등의 기능을 수행하여 공정의 흐름을 원할히 해주는 장비입니다. (500~ 2500장 대용량 Wafer 처리능력, Customized Product)

 

Specification

- Semi Standard Compliance

- Rapid Robot 채용으로 Throughput 향상

- Bluecord FFU & Monitoring System 적용

- Class 1 Mini-Environment 구성\

- High Precision OCR

- Bluecord Pre-Aligner 채용\

- System의 전 상황을 파악할 수 있는 GUI-Based Operation S/W

- Communications : SECS Ⅰ / SECS Ⅱ / GEM