(주)아토벡
All Teflon(POCL3)
모델명
시리즈
Throttle Valve
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제품 상세 설명
ATV1000 All Teflon Throttle Valve
ATV1000 All Teflon Throttle Valve 는 진공 Chamber의 압력을 조절하는데 사용된다.
ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 GPC3000 (Auto Pressure Controller)와 호환하여 사용 하도록 설계 되어 있다.
특히 포클(POCL) 액인 것을 특징으로 하는 반도체 공정 제조 장비의 배출 장치로 많이 사용 된다.
Features & Benefits
■ ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 Micro-Stepping Motor 및 Direct Gear Driver를 사용하여 Valve 의 Resolution을 향상시켰고, 반 영구적으로 사용이 가능하다.
■ ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 귀사에서 제공하는 GPC3000 Controller와 연결하여 사용이 가능하며, 기타 타 회사 제품의 Controller도 연결하여 사용할수 있다.
■ ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 Teflon 재질로 되어 있어 오염으로부터 특화 되어있다.
Specifications
Speed (open to close) | 2.0 sec |
Resolution | 1/24000 |
Drive Method | Direct gear drive |
Valve Motor Ambient Operating Temperature | -20 to +40 |
Differential Pressure Across Valve | 1 atm. (15psig) max. |
External Leakage at Shaft seal | 1x10-8sec/sec He |
Materials Exposed to Process | PTFE, PEEK, Viton |
Compatible Controller | Model GPC3000 MKS Type 651, 1651 |
Size | i inch Teflon join |
Full Closed Leak (100mmH2O) | 3 l/min |