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Reticle Macro AFVI

모델명

시리즈

Semiconductor


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제품 상세 설명

Reticle Macro Inspection 

▪ Particle inspection on all area of reticle : 

   - Pellicle, Pellicle Frame, Pattern, Backside

▪ Multi scanning with vertical and oblique optical system

▪ Inspection of various reticles with 1 recipe 

   - No prior work for each mask needed

▪ Applicable to full automation

▪ 0.5um pinhole/particle detection in non-pattern area

▪ Optional function to distinguish particle position at top/bottom of pellicle

▪ Verifying review module included

ATI, Advanced Technology Reticle Macro AFVI SUN

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