에이엠테크놀로지(주)
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Single Side Process
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시리즈
P & L 사업부
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제품 상세 설명
특징
- 견고한 구조
- Block Index System 적용
- 최적화된 DMP/CMP Software
- 5단계의 압력, 속도, 시간 조절
- 유정압 방식 Facing System 적용 (DMP M/C)
- 자동 Pad Cleaning System 적용 (CMP M/C)
사양
