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Rotary Stage

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Motorized Stage


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Description


탑텍 회전스테이지 MAR Series

탑텍 회전스테이지 MAR Series 1

사양설명
스테이지면 크기Φ60
이동거리360˚
이동방식Worm Gear, 1/180
분해능0.004/Pulse(Full Step)
최고 이송 속도20˚/sec[5kHz]
정도0.05˚
단일-반복정밀도±1um
다중-반복정밀도±2um
상하흔들림정도25"
좌우흔들림정도20"
평행도(mm)0.02"
주행 평행도(mm)0.01"
진직도(mm)0.005
내하중(Kg)3
모터 형번PMM33BH2-C49(5P STEP)
하중(Kg)0.6
드라이버 형번DFC5107-P
센서 형번1원점 센서
케이블 연결선HR-10A-10J-12O\P(HRS)


탑텍 회전스테이지 MAR Series 2

탑텍 회전스테이지 MAR Series 3

사양설명
스테이지면 크기Φ90
이동거리360˚
이동방식Worm Gear, 1/180
분해능0.004/Pulse(Full Step)
최고 이송 속도20˚/sec[5kHz]
정도0.025˚
단일-반복정밀도±1um
다중-반복정밀도±2um
상하흔들림정도25"
좌우흔들림정도20"
평행도(mm)0.02"
주행 평행도(mm)0.01"
진직도(mm)0.005
내하중(Kg)10
모터 형번PK545NB(5P STEP)
하중(Kg)2.4
드라이버 형번DFC5107-P
센서 형번1원점 센서
케이블 연결선D-SUB-9P(Female)


탑텍 회전스테이지 MAR Series 4

탑텍 회전스테이지 MAR Series 5

사양설명
스테이지면 크기Φ125
이동거리360˚
이동방식Worm Gear, 1/180
분해능0.004/Pulse(Full Step)
최고 이송 속도20˚/sec[5kHz]
정도0.025˚
단일-반복정밀도±1um
다중-반복정밀도±2um
상하흔들림정도25"
좌우흔들림정도20"
평행도(mm)0.02"
주행 평행도(mm)0.01"
진직도(mm)0.005
내하중(Kg)15
모터 형번PK545NB(5P STEP)
하중(Kg)3
드라이버 형번DFC5107-P
센서 형번1원점 센서
케이블 연결선D-SUB-9P(Female)


탑텍 회전스테이지 MAR Series 6

탑텍 회전스테이지 MAR Series 7

사양설명
스테이지면 크기Φ150
이동거리360˚
이동방식Worm Gear,1/180
분해능0.004/Pulse(Full Step)
최고 이송 속도20˚/sec[5kHz]
정도0.025˚
단일-반복정밀도±1um
다중-반복정밀도±2um
상하흔들림정도25"
좌우흔들림정도20"
평행도(mm)0.02"
주행 평행도(mm)0.01"
진직도(mm)0.005
내하중(Kg)20
모터 형번PK566NB
하중(Kg)6
드라이버 형번DFC5114-P
센서 형번1원점 센서
케이블 연결선D-SUB-9P(Femle)


탑텍 회전스테이지 MAR Series 8

탑텍 회전스테이지 MAR Series 9

사양설명
스테이지면 크기Φ200
이동거리360˚
이동방식Worm Gear, 1/180
분해능0.004/Pulse(Full Step)
최고 이송 속도20˚/sec[5kHz]
정도0.025˚
단일-반복정밀도±1um
다중-반복정밀도±2um
상하흔들림정도25"
좌우흔들림정도20"
평행도(mm)0.02"
주행 평행도(mm)0.01"
진직도(mm)0.005
내하중(Kg)30
모터 형번PK566NB(5P STEP)
하중(Kg)12
드라이버 형번DFC5114-P
센서 형번1원점 센서
케이블 연결선D-SUB-9P(Female)

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