KOREA AIRTECH
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Description
특징 및 적용
- 0.1㎛ 기준 99.999999%
- 초박형이고 저압손형임
- 경량이고 설치 및 취급이 용이함
- CLASS 1이하의 반도체 공정에 적용
재질 및 사용 조건
구분 | 재질 |
MEDIA | GLASS-FIBER |
FRAME | ALUMINUM |
SEALANT | POLY-URETHANE |
GASKET | NEOPRENE RUBBER, EPDM |
최고 사용온도 | 60℃ |
최고 사용습도 | 100 % RH |
표준사양
규격 (MM) H X W X D | 풍량 (CMM) | 압력손실(MMAQ) | 중량 (kg) | |
초기 | 말기 | |||
610 X 305 X 65 | 4.5 | 19 | 30 | 2.0 |
610 X 610 X 65 | 10 | 3.7 | ||
610 X 1220 X 65 | 20 | 7.2 | ||
610 X 305 X 85 | 4.5 | 17 | 30 | 3.1 |
610 X 610 X 85 | 10 | 5.0 | ||
610 X 1220 X 85 | 20 | 8.9 | ||
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