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JFDC

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Description

  • 설비 내의 웨이퍼 제조환경 관련 데이터(온도, 압력 등)를 분석, 제공
  • 설비의 이상 동작을 조기에 발견하고 조치할 수 있도록 함






주요기능

FDC(Fault Detection and Classification)는 Data를 수집, 분석해 Fault를 실시간으로 감지 및 Monitoring할 수 있고 진단이 끝난 Fault에 대해서는 향후 참조 및 재활용이 가능하도록 원인과 현상에 따라 분류해 미래의 Fault에 대한 추적 및 원인 분석을 용이하게 할 수 있도록 도와줍니다. 이는 엔지니어가 문제가 발생했을 때 신속하게 대처하고 미래의 문제를 예방할 수 있도록 도와줍니다.

  • FDC를 통해 사용자는 중앙에서 설비의 성능과 상태를 측정 및 비교해 전체 시스템의 안정성을 높일 수 있다.
  • 성능의 개선이 필요한 부분이나 문제점을 쉽게 파악해 유지 보수에 따른 시간과 비용을 줄일 수 있다.
  • Fault에 대한 정확한 관리를 통해 비용과 Scrap을 최소화하고 수율을 향상시킬 수 있다.



제품 특징

  • 4-20mA, 16 bit ADC 입력(예비 아날로그 입력 1ch 입력)
  • Fault & Alarm Relay 출력
  • 입력 전원 +24V DC(JFDC-100가 사용하는 전류량 최대 50mA)
  • 벽부형 또는 판넬형 거치형(Steel 소재)
  • LED 테스트 버튼 기능 지원
  • 리셋 버튼 기능 지원
  • 입력 아날로그 값 세크먼트 출력
  • Ready 값 LED 표시
  • Warning 값 LED 표시
  • Fault 값 LED 표시
  • Alarm 값 LED 표시
  • Modbus통신 지원
  • Warning 값을 모드 버스를 통해 설정 가능



제품설명








Segment LED입력된 아나로그 값표시
Ready3.0 ~ 15.9mA
Warning16.0 ~ 18.9mA(Optional)
Fault0.0 ~ 2.9mA
Alarm19.0mA
ResetFDC 리셋 버튼
L/TLED 테스트 버튼

1+24VDCDC 24V 전원 입력
2GND입력 전원 GND
3RS-485 D-RS-485 통신 Data- Line
4RS-485 D+RS-485 통신 Data+ Line
5RS-485 ERS-485 통신 Earth GND
6SPARE연결 안됨
7AI Ch1+채널 1 아날로그 입력 +
8AI Ch1-채널 1 아날로그 입력 -
9AI Ch2아날로그 입력 채널 2 선택
10AI Ch1아날로그 입력 채널 1 선택
11AI Ch2+채널 2 아날로그 입력 +
12AI Ch2-채널 2 아날로그 입력 -
13R1 Out Com릴레이 1 출력의 공통 연결
14R1 Out N/C릴레이 1 출력의 평상시 Close, Fault시 Com과 연결
15R1 Out N/O릴레이 1 출력의 평상시 Open, Fault시 Com과 연결
16R2 Out Com릴레이 2 출력의 공통 연결
17R2 Out N/C릴레이 2 출력의 평상시 Close, Alarm시 Com과 연결
18R2 Out N/O릴레이 2 출력의 평상시 Open, Alarm시 Com과 연결
19FSD +24VDC+24VDC 전원 출력
20FSD GND출력 전원의 GND

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