반도체 노광 공정에서 Reticle을 청정 환경에서 보관하고 컴퓨터 시스템으로 입출력 및 이력 관리를 수행하는 장비입니다.

Specification

- 사용자 ID가 부여되어야만 입·출고 가능

- Class 1 Cleanroom Compatible

- 수평 Air Flow로 Particle 오염 최소화

- Small Footprint로 협소한 공간에 적용 용이

- 제품 입·출고 시 사용자명과 해당날짜 자동기록

- 제품 ID를 입력하여 사용처의 Quick Searching 기능

- Cassette 입·출력 및 저장 위치를 쉽게 확인할 수 있는 User Friendly Based GUI