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  • ATOVAC

    Throttle Valve
    Model
    ATV1000
    Series
    Throttle Valve

    Product Description

    ATV1000 Throttle Valve

    ATV1000 (Throttle Valve)는 진공 Chamber의 압력을 조절하는데 사용된다.

    또한 넓은 범위의 압력을 조절할수 있도록 제작 되었다.

    ATV1000 (Throttle Valve)는 GPC3000 (Auto Pressure Controller)와 호환하여 사용 하도록 설계 되어 있다.


     


    Features & Benefits

    ■ ATV1000 (Throttle Valve)는 High Speed Motor를 장착하여 Set-Point의 도달하는 시간을 현저히 줄여 귀사의 장비의 Throughput을 향상시키도록 디자인 되어 있다.

    ■ ATV1000 (Throttle Valve)는 귀사에서 제공하는 GPC3000 Controller와 연결하여 사용이 가능하며, 기타 타 회사 제품의 Controller도 연결하여 사용할수 있다.

    ■ ATV1000 (Throttle Valve)는 Flapper의 Position을 User가 외부에서도 확인이 가능하도록 Case에 표시 하여, Valve의 동작여부를 장비에서 탈 착하지 않아도 확인 가능하게 설계되어 있다.

    ■ ATV1000 (Throttle Valve)의 Flang Style은 일반적으로 ISO-NW를 사용하지만 고객의 요구에 따라 CF, ASA, JIS 로도 가능하게 설계되어 있다.




    Specifications

    Speed (open to close)

    1.5sec 

    Resolution

    1/24000 

    Drive Method

    Direct gear drive 

    Maximum Valve Body Operating Temperature

    Standard 0-100

    Optional : 0 - 150 (Note 1) 

    Valve Motor Ambient

    Operating Temperature

    -20 to +40 

    Differential Pressure

    Across Valve

    1 atm. (15psig) max. 

    External Leakage at Shaft seal

    1x10-8sec/sec He 

    Materials Exposed to Process

    Standard : 304 S.S., Viton (Note 2)

    Optional :316 S.S., Viton (Note 2) 

    Compatible Controller

    Model GPC3000

    MKS Type 651, 1651 

    Drive Output Torque

    (with Model GPC3000 or MKS Type 651)

    800 in-oz 


    Closed Leakage

    (valves with a flapper o-ring) 

    <10-7(Torr l/s)> 

    Flange Styles:

    ISO-NW

    ASA

    CF

    JIS

    KF

    Notes:

    1. Consists with shaft seal and flapper seal o-ring material.

    2. Where Vition is used, other materials are available.

    Contact Applications Engineering.



    Product List

    Controller

    Vacuum Gauge Controller
    GVC2200
    Vacuum Gauge Controller
    CG2000
    P/S & Pressure Display Unit (Flow & pressure)
    GPD-5
    P/S & Flow controller (Flow & pressure)
    AMC60
    P/S & Flow Controller (Flow & pressure)
    GMC300D
    Power Supply & Readout Unit (Flow & pressure)
    GMC220
    Flow & Pressure Controller (Flow & pressure)
    GMC1200
    Throttle Valve Controller
    GPC3000
    Throttle valve
    APC200

    MFC

    Mass Flow Controller
    AFC500, AFC600
    High Mass Flow Controller
    AFC770

    Vacuum Gauge

    Capacitance Manometer
    Capacitance Manometer
    Ion Gauge
    4336k
    Convection Gauge
    CG202
    Enhanced Convection Gauge
    EG301

    Throttle Valve

    Throttle Valve Blind
    ATV1000-B
    Throttle Valve
    ATV1000
    All Teflon(POCL3)
    Smart Exhaust Pressure Controller
    ATV3000

    MFC Box Panel & Gas Flow System

    MFC Box Panel & Gas Flow System
    MFC Control Box
    AMCB (MFC Control Box Unit 2~6 Channel)
    Gas Line System