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  • ATOVAC

    All Teflon(POCL3)
    Model
    -
    Series
    Throttle Valve

    Product Description

    ATV1000 All Teflon Throttle Valve

    ATV1000 All Teflon Throttle Valve 는 진공 Chamber의 압력을 조절하는데 사용된다. 

    ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 GPC3000 (Auto Pressure Controller)와 호환하여 사용 하도록 설계 되어 있다.

    특히 포클(POCL) 액인 것을 특징으로 하는 반도체 공정 제조 장비의 배출 장치로 많이 사용 된다. 


     


    Features & Benefits

    ■ ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 Micro-Stepping Motor 및 Direct Gear Driver를 사용하여 Valve 의 Resolution을 향상시켰고, 반 영구적으로 사용이 가능하다.

    ■ ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 귀사에서 제공하는 GPC3000 Controller와 연결하여 사용이 가능하며, 기타 타 회사 제품의 Controller도 연결하여 사용할수 있다.

    ■ ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 Teflon 재질로 되어 있어 오염으로부터 특화 되어있다. 




    Specifications

    Speed (open to close)

    2.0 sec 

    Resolution

    1/24000 

    Drive Method

    Direct gear drive 

    Valve Motor Ambient

    Operating Temperature

    -20 to +40 

    Differential Pressure

    Across Valve

    1 atm. (15psig) max. 

    External Leakage at Shaft seal

    1x10-8sec/sec He 

    Materials Exposed to Process

    PTFE, PEEK, Viton

    Compatible Controller

    Model GPC3000

    MKS Type 651, 1651 

    Size

    i inch Teflon join 

    Full Closed Leak (100mmH2O)

     3 l/min



     

    Product List

    Controller

    Vacuum Gauge Controller
    GVC2200
    Vacuum Gauge Controller
    CG2000
    P/S & Pressure Display Unit (Flow & pressure)
    GPD-5
    P/S & Flow controller (Flow & pressure)
    AMC60
    P/S & Flow Controller (Flow & pressure)
    GMC300D
    Power Supply & Readout Unit (Flow & pressure)
    GMC220
    Flow & Pressure Controller (Flow & pressure)
    GMC1200
    Throttle Valve Controller
    GPC3000
    Throttle valve
    APC200

    MFC

    Mass Flow Controller
    AFC500, AFC600
    High Mass Flow Controller
    AFC770

    Vacuum Gauge

    Capacitance Manometer
    Capacitance Manometer
    Ion Gauge
    4336k
    Convection Gauge
    CG202
    Enhanced Convection Gauge
    EG301

    Throttle Valve

    Throttle Valve Blind
    ATV1000-B
    Throttle Valve
    ATV1000
    All Teflon(POCL3)
    Smart Exhaust Pressure Controller
    ATV3000

    MFC Box Panel & Gas Flow System

    MFC Box Panel & Gas Flow System
    MFC Control Box
    AMCB (MFC Control Box Unit 2~6 Channel)
    Gas Line System