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Smart Exhaust Pressure Controller

Model

Series

Throttle Valve


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Origin

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Description

ATV3000 Smart Exhaust Pressure Controller

ATV3000 Exhaust Pressure Controller 는 진공 Chamber 의 압력을 조절하는데 사용된다. 

또한 넓은 범위의 압력을 조절할 수 있도록 제작 되었다. 

Controller 와 Valve 가 일체형으로 제작되어 추가적으로 Controller 를 사용하지 않아 원가 절감에 효과를 가질 수 있다. 


 


Features & Benefits

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 Micro-Stepping Motor 및 Direct Gear Driver 를 사용하여 Valve 의 Resolution 을 향샹 시켰고, 반 영구적으로 사용이 가능하다. 

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 High Torque Motor를 사용하기 때문에 Vacuum Line(예:12 inch) 이 Large Size Chamber 에서도 사용이 가능하다. 

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve Body 는 150˚C 까지 Heating 을 하여도 사용이 가능하다. (Sealing Type 은 제외)

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 Flapper 의 Position 을 User 가 외부에서도 확인이 가능하도록 FND로 표시하여, Valve 의 동작여부를  장비에서 탈,착 하지 않아도 확인 가능하게 설계되어 있다. 

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 고객이 원하는 대로 주문시 Flange Style 을 설정할 수 있다.  (Flange Style : ISO-NW, ASA, CF, JIS , KF)

■ ATV3000 Smart Exhaust Throttle Valve 는 외부에서 DC Power (+24VDC) 를 공급받아야 사용이 가능하다. 




Specifications

Speed (open to close)

1.5sec 

Resolution

1/12000 

Drive Method

Direct gear drive 

Maximum Valve Body Operating Temperature

Standard 0-100

Optional : 0 - 150 (Note 1) 

Valve Motor Ambient

Operating Temperature

-20 to +40 

Differential Pressure

Across Valve

1 atm. (15psig) max. 

External Leakage at Shaft seal

1x10-8sec/sec He 

Materials Exposed to Process

Standard : 304 S.S., Viton (Note 2)

Optional :316 S.S., Viton (Note 2) 

Visual Position Indicator

FND

Drive Output Torque

(with Model GPC3000 or MKS Type 651)

800 in-oz 





Specifications

Speed (open to close)

1.5sec 

Resolution

1/24000 

Drive Method

Direct gear drive 

Maximum Valve Body Operating Temperature

Standard 0-100

Optional : 0 - 150 (Note 1) 

Valve Motor Ambient

Operating Temperature

-20 to +40 

Differential Pressure

Across Valve

1 atm. (15psig) max. 

External Leakage at Shaft seal

1x10-8sec/sec He 

Materials Exposed to Process

Standard : 304 S.S., Viton (Note 2)

Optional :316 S.S., Viton (Note 2) 

Compatible Controller

Model GPC3000

MKS Type 651, 1651 

Drive Output Torque

(with Model GPC3000 or MKS Type 651)

800 in-oz 


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