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Capacitance Manometer

Model

Series

Vacuum Gauge


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Origin

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Description

730 Capacitance Manometers

일반적으로 진공 Chamber에 설치되어, 실제 진공 Chamber내에 압력을 읽어내는 게이지 이며, 보통 ±12~30 VDC의 파워를 필요로 하고  0~10VDC 시그널의 출력을 가지는 Capacitance Manometer는 반도체공정 및 진공 장비에 사용됩니다.




Features & Benefits

■ 실제 Vacuum Chamber내에 Total  Pressure를 간접측정 방식으로 Pressure를 측정 

■ Vacuum Chamber내에 Gas의 종류에 따라 영향을 받지 않는다.

■ 오염물질에 강한 소재를 사용하여 어느 진공게이지 보다 Life Time을 향상, 정밀도가 높아 Process용으로 사용된다.

■ 730은 Atovac Power Supply & Readout 장치와 연결해 쉽게 사용이 가능하다.






Dimensions





Specifications

Pressure ranges (mmHg Full Scale)

10, 20, 100, 200, 1000 

Useable measurement range 

1 x 10(-4) F.S 

Accuracy

(non-linearity, hysteresis, and non-repeatability) 

±0.5% of Reading

±0.25% of Reading (0pt) 

Temperature Coefficients

Zero

Span 

0 to + 50°c

< ± 0.25% FS/50°c

< ± 1.35% Rdg/50°c

Ambient operating temperature range

0°c to 80°c

Materials exposed to gases

Inconel 

Volume (Px side) 

6.0cc 

Overpressure limit without damage

45 psia (310 kpa) 

Input Required 

+12~30 VDC 

Output

0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load 

Fittings

8 VCR female, 4 VCR female

NW16KF, NW25KF 

Agency compliance

CE, RoHS Compliant 

Inquiry

Komachine Inc.
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Dongbaekjungang-ro 16beon-gil, Giheung-gu,
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